法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20170120
实质审查的生效
2018-11-09
公开
公开
机译: 带式半导体器件上的柔性印刷电路基板膜载体半导体器件的半导体制造电路基板的方法和电子器件
机译: 用于清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于制造OLED器件的基板上的真空沉积的装置
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