机译:用于清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于制造OLED器件的基板上的真空沉积的装置
公开/公告号KR20210038725A
专利类型
公开/公告日2021-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드;
申请/专利号KR1020217009614
申请日2017-04-28
分类号H01L51/56;H01L51;
国家 KR
入库时间 2022-08-24 18:08:03