机译:用于清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,用于制造OLED器件的基板上真空沉积的方法,以及用于制造OLED器件的基板上的真空沉积的装置
公开/公告号US2021308725A1
专利类型
公开/公告日2021-10-07
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201716318052
申请日2017-04-28
分类号B08B7/04;B08B7;B08B3/08;B08B9/08;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;H01L51;H01L51/56;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:30:50