DSA通孔层三重模式分解的离散松弛法

摘要

本发明涉及一种DSA通孔层三重模式分解的离散松弛法。该方法通过构造一个加权冲突分组图，引入负权重的边，然后提出了一个基于掩模板设计的离散松弛问题；用整数线性规划（ILP）公式来求解离散松弛问题，求得该问题最优值的下界；为了改善下界，引入一些有效的不等式来修正一些不好的松弛问题的解；最后，通过求解布局图上的模板设计问题，将得到的离散松弛解转化为原问题的合法解，从而为原问题的最优值提供了一个上界。