公开/公告号CN108713166A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201780015925.5
申请日2017-02-22
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;崔卿虎
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 07:00:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20170222
实质审查的生效
2018-10-26
公开
公开
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