臭氧气体生成装置及臭氧气体生成装置的制造方法

摘要

一种臭氧气体生成装置包括：第1电极部(11)，包含第1电极(111)；及第2电极部(12)，与第1电极部相对置，并且在与第1电极部之间隔着能够放电的指定间隔而配置，且包含第2电极(121)；第1电极部及第2电极部中的至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极或第2电极的表面的电介质(112、122)，并且至少一个包括设置在相对置的一侧的第1电极、第2电极或电介质的表面的至少一部分，且包含金属或金属化合物中的至少1个的层(113、123)；第1电极部及第2电极部构成为相对置的表面的间隔的精度为±3％以上且±50％以下。