痕量臭氧标准气体发生装置的研制

摘要

本文研制了一种新型的痕量臭氧标准气体发生装置,可输出设定量值的臭氧标准气体,得到量值准确可靠的、稳定的臭氧标准气体,浓度范围从25ppb到1000ppb,并由美国国家标准局(NIST)臭氧基准测量装置SRP41来定值。可输出一组按顺序增大或减小的可对比数据,与SRP41进行比对或连接其他被校准仪器作比对。该发生装置专门用于臭氧标准气体的发生和分析。实验表明本文研制的臭氧标准气体发生装置具有良好的线性和可靠性,可用于臭氧定性定量分析和仪器检定、校准。