一种应用在垂直腔面发射激光器中的分布式布拉格反射镜

摘要

本发明公开了一种应用在垂直腔面发射激光器中的分布式布拉格反射镜，采用二元数字合金GaAs/AIAs超晶格材料作为高折射率材料层，形成一种新型的二元数字合金GaAs/AIAs半导体超晶格型分布式布拉格反射镜DBR，在上述结构的DBR反射镜中，由于二元数字合金GaAs/AIAs超晶格材料的引入省去了异质界面的组分过渡层,简化了器件的结构设计,使得外延生长过程中对生长参数更易控制，同时由于超晶格各层的厚度与电子的德布洛意波长在同一数量级,使载流子通过隧道效应形成的隧道电流增强从而有利于DBR反射镜获得较低的串联电阻。