陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法

摘要

本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器及提高压力检测精度的方法，包括基座、固定电极和可变电极，基座一端设有球面凹槽，固定电极固定连接在球面凹槽表面，固定电极和可变电极之间形成电容容室；球面凹槽表面固定连接有热敏陶瓷温度传感器，固定电极表面与热敏陶瓷温度传感器相紧密抵接；热敏陶瓷温度传感器可检测出固定电极的实时温度，通过计算可得到温度使固定电极与可变电极之间产生的距离变化值，然后对该距离变化值的计算可得到温度对陶瓷电容式压力传感器测得的压力差值，将差值与测得压力值进行相互计算，可得到实际的压力值，从而达到减小温度对陶瓷电容式压力传感器对压力检测值的影响，提高陶瓷电容式压力传感器的检测准确度。