体声波谐振器与电容器的单片集成结构及其制造方法、滤波器、双工器以及射频通信模块

摘要

本发明提供了一种体声波谐振器与电容器的单片集成结构，包括：衬底；下电极，该下电极设置在所述衬底上且与所述衬底之间形成空腔；压电层，该压电层设置在所述下电极上；上电极，该上电极设置在所述压电层上；第一电极，该第一电极设置在所述衬底内位于所述空腔的下方、且与所述下电极之间存在第一交叠区域。相应地，本发明还提供了一种体声波谐振器与电容器的单片集成结构的制造方法、体声波滤波器、双工器以及射频通信模块。实施本发明可以实现体声波谐振器和电容器的单片集成，利用该单片集成结构形成体声波滤波器不但可以有效地保证体声波滤波器的滚降特征还可以有效地减小体声波滤波器的体积，进而有效地减小双工器以及射频通信模块的体积。