法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1987-09-09
实质审查请求
实质审查请求
1987-05-20
公开
公开
机译: 湿法刻蚀氧化硅层的方法和制造半导体器件的方法,使用相同的方法可以改善半导体器件的集成度并显着降低半导体器件的缺陷率
机译: 半导体器件的缺陷排序方法,半导体器件的产量预测方法,半导体器件的制造方法,半导体器件的缺陷排序系统和半导体器件的存储装置及其存储装置和存储装置
机译: 制造半导体发光器件的方法,制造半导体器件的方法,制造器件的方法,生长氮化物III-V族III族-V族复合半导体层的方法,生长半导体层的方法以及生长层的方法