一种基于硅基透镜的钪掺杂AlN高频超声换能器的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于硅基透镜的钪掺杂AlN高频超声换能器的制备方法，该基于硅基透镜的钪掺杂AlN高频超声换能器的制备方法具体步骤如下：S1：硅基透镜的制作，S2：底部电极的制作，S3：顶部电极的制作，S4：顶部电极、底部电极与SMA接口连线。本发明中，透镜材料选用硅，相比于传统蓝宝石透镜使用的传统的研磨技术，硅基透镜可以使用非机械的刻蚀技术，对于高级换能器结构，使在硅基透镜上制作多层透镜成为可能，并且硅晶体比蓝宝石晶体成本更低。透镜制备过程使用了MEMS光刻和刻蚀技术，使制作的微小的声透镜具有高度球状和较小的表面粗糙成为可能，并且可以制作一批一致性良好的透镜。