基于悬臂梁的微纳电子机械系统间接加热式微波辐射仪

摘要

本发明的基于悬臂梁的微纳电子机械系统间接加热式微波辐射仪，由微波天线，低噪声放大器，六端口悬臂梁耦合器，微波频率和功率检测模块，放大器，单片机和液晶显示器组成；微波天线接收的信号被放大后进入六端口悬臂梁耦合器，被耦合出的信号用于功率和频率的检测，而后单片机经过运算并在液晶显示器显示辐射信号频率和功率；本发明可以同时得到辐射信号的辐射频率和辐射强度，并使用了间接加热式垂直纳米微波功率传感器替代传统的二极管作为微波功率传感器，具有线性度高、温漂小、功率上限高的优点，多晶硅纳米线的热导率远低于传统体材料，提高了热电转换效率，极大地增大输出电压，从而提高了辐射仪的灵敏度和精度。