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李昕欣; 王跃林; 小野崇人; 江刺正喜;
国家自然科学基金委员会;
科技部;
解放军总装备部;
清华大学;
重庆大学;
纳米机械技术; 纳电子机械系统; 传感器; 悬臂梁; 微加工工艺; 谐振测试;
机译:微悬臂梁作为气相传感平台:聚合物涂层多孔硅过硅微悬臂梁的生产的简化和优化
机译:基于绝缘体上硅的浮层单晶硅悬臂梁中的图案掩埋氧化物
机译:基于绝缘体上硅的软单晶硅悬臂梁中的图案掩埋氧化物
机译:微电子机械系统在小规模测量方面取得了进步:垂直硅探针技术已扩展到近场光学
机译:基于双材料微悬臂梁的热传感技术
机译:硅微悬臂梁传感器可检测分子开关Spiropyan的可逆构象变化
机译:微电子机械系统和硅微加工技术
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。
机译:提取和浓缩含固体天然产物中单宁的方法和设备,采用渗滤技术,膜在纳滤技术上呈螺旋形缠绕。纳滤膜poliam u00ecdicas或polieterosulf u00c8nicas纳滤NF pesio 10技术polieterosulf u00c8nica,膜n 30 f polieterosulf u00c8nica,聚酰胺膜Desal 5 DK在纳滤技术上螺旋缠绕
机译:应用微波辐射技术和低电压电弧技术连续生产基于硅的可减少电耗的硅的工艺
机译:“基于使用多孔硅密封气穴技术或微通道技术的低功率硅热传感器和微流体设备”
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