一种基于光敏位置传感器反馈的微球透镜超分辨率光学扫描成像系统及其成像方法

摘要

本发明公开了一种基于光敏位置传感器反馈的微球透镜超分辨率光学扫描成像系统，包括反馈和扫描控制器，扫描台，扫描台上设有样品台，样品台上方设有微球透镜，微球透镜上方设有光学显微镜，所述微球透镜固定于探针上，探针通过柔性连接件与手动位移台相连接，手动位移台上设有激光发射器，所述探针上设有反射激光发射器发出的光线的平面反光镜，在激光发射器上方设有接收平面反光镜反射光线的光敏位置传感器，光敏位置传感器可以检测由微球与样品表面的接触力导致的平面反光镜偏转，通过反馈和扫描控制器驱动扫描台，可以维持微球与样品表面的恒定接触。本发明还公开了本成像系统的成像方法。