薄的聚对二甲苯的可靠沉积

摘要

描述了沉积薄的聚对二甲苯和超薄的聚对二甲苯的设备、系统和方法。在实例中，使用芯沉积室。芯沉积室包括底座和刚性的、可移除的盖，所述盖被配置成与底座配合并密封以形成芯沉积室并限定芯沉积室的内部和外部。芯沉积室还包括穿过盖的顶部的导管。导管具有将芯沉积室的内部与外部连接的管腔。管腔具有长度和横截面。横截面具有在50μm和6000μm之间的宽度。长度小于横截面宽度的140倍。芯沉积室可以被放置在外部沉积室中，并且可以在芯沉积室内实现小于1μm厚的聚对二甲苯沉积。