公开/公告号CN108364950A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 中国工程物理研究院电子工程研究所;
申请/专利号CN201810142345.9
申请日2018-02-11
分类号H01L27/06(20060101);H01L21/8252(20060101);
代理机构51224 成都顶峰专利事务所(普通合伙);
代理人何红信
地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号
入库时间 2023-06-19 06:30:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/06 申请日:20180211
实质审查的生效
2018-08-03
公开
公开
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