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一种基于石墨烯导电特性的气体压力传感器装置

摘要

本发明针对密闭容器内气体压力难以测量的现状,提出一种密闭容器内气体压力测量装置。压力传感器密闭容器装置由圆柱型容器、低压气体、圆形单晶硅板和石墨烯薄膜组成。所述桥式电路信号提取装置由电源、电阻、电流表、电压表、开关和导线组成。圆形单晶硅板及石墨烯薄膜在低压气体的作用下向容器内方向弯曲,石墨烯薄膜长度发生变化,石墨烯薄膜的电阻随长度变化,在桥式电路信号提取回路上就会形成相应的电流和电压变化,采集该变化信号,经过转化就能得到石墨烯薄膜的电阻变化,得到容器内气体压力。

著录项

  • 公开/公告号CN108318175A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东理工大学;

    申请/专利号CN201810110663.7

  • 申请日2018-02-05

  • 分类号G01L7/08(20060101);G01L9/04(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 255086 山东省淄博市高新技术开发区高创园A座313室

  • 入库时间 2023-06-19 06:00:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L7/08 申请日:20180205

    实质审查的生效

  • 2018-07-24

    公开

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