一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平装置

摘要

本发明提供一种用于大倍率光刻设备光学系统的辅助DMD调平装置，包括固定底板、第一U型支撑架、第二U型支撑架、四个相机支撑架和四个CCD；所述第一U型支撑架和第二U型支撑架横向设置且两者的敞口端相对设置，两者的下侧板均安装在固定底板上，两者的上侧板上均安装两个相机支撑架；所述四个CCD一一对应安装在四个相机支撑架上，且所述四个CCD的相对位置关系与光刻设备光学系统投影图的边缘四角位置相对应。本发明利用多个相机同时观察DMD调试过程中的动态变化，实现了对DMD平行性的实时观测调试，有效提高了DMD平行性的调试效率。本发明结构简单，设计合理，精度可控制在10um以内，符合生产需求。