一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置

摘要

一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置，设置在中空式微位移单元上的用于加载被测薄膜的水平加载单元，位于水平加载单元上方的微悬臂梁测试单元，位于中空式微位移单元的下方用于采集图像数据的显微干涉测试单元，信号处理单元分别与微悬臂梁测试单元、水平加载单元、中空式微位移单元和显微干涉测试单元的信号输入输出端相连，用于对微悬臂梁测试单元的弹性系数进行标定和采集存储微悬臂梁测试单元的测试数据，控制水平加载单元对被测薄膜施加载荷，控制中空式微位移单元的移动使显微干涉测试单元能够在光学图像中选择合适的脱粘区域，并采集显微干涉测试单元获取的数据。本发明能够更精确地计算出界面能量释放率等薄膜与基底粘附特性信息。