公开/公告号CN108198750A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 厦门市三安集成电路有限公司;
申请/专利号CN201711215505.X
发明设计人 宋健;
申请日2017-11-28
分类号H01L21/027(20060101);H01L21/033(20060101);H01L21/306(20060101);H01L21/308(20060101);
代理机构35204 厦门市首创君合专利事务所有限公司;
代理人张松亭;陈淑娴
地址 361000 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
入库时间 2023-06-19 05:42:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20171128
实质审查的生效
2018-06-22
公开
公开
机译: 砷化镓镓晶圆及其制造
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