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一种具有超高室温灵敏度和超快室温响应特性的硅纳米线气体传感元件

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本发明提供一种具有超高室温灵敏度和超快室温响应特性的硅纳米线气体传感元件，包含p型或者n型单晶硅片基底和铂电极，在单晶硅片基底与铂电极之间有兼具Ag纳晶修饰改性和粗糙表面结构改性的硅纳米线阵列敏感层。本发明的有益效果是显著改善硅纳米线阵列基气体传感器的灵敏度、响应速度、探测极限等室温气体敏感性能，实现传感器对NO

著录项

公开/公告号CN108120746A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-05

原文格式PDF
申请/专利权人天津大学;
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申请/专利号CN201611065361.X
发明设计人秦玉香;刘雕;王泽峰;姜芸青;
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申请日2016-11-28
分类号
代理机构天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王秀奎
地址 300072 天津市南开区卫津路92号
入库时间 2023-06-19 05:35:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/12 申请日:20161128

实质审查的生效
2018-06-05

公开

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