用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR差动相位测量方法

摘要

本发明公开了一种用于测量纳米级双层金属薄膜厚度的SPR差动相位相位测量方法，步骤一：建立金属薄膜厚度函数关系式；步骤二：设定一组入射角变动量值，选定一值初始入射角变动量值，光束1、2同时入射到棱镜型SPR金属薄膜界面；步骤三：获取镀膜区域光束1和光束2的干涉条纹图像；步骤四：获取非镀膜区域光束1和2的干涉条纹图像；步骤五：将步骤三和四获取的光束1、2在镀膜与非镀膜区域的干涉图像分别进行比对、计算，得到差动值；步骤六：重复步骤三至五，得到拟合曲线，并求得该拟合曲线斜率；步骤七：确定所镀金属薄膜厚度。本发明有益效果是：实现对纳米级单层金属薄膜厚度的非接触、高精度测量，该测量系统结构简单便于操作。