公开/公告号CN108145606A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-12
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江工业大学;
申请/专利号CN201711179777.9
申请日2017-11-23
分类号B24B49/12(20060101);B24B57/02(20060101);B24B57/00(20060101);G01N15/02(20060101);
代理机构33241 杭州斯可睿专利事务所有限公司;
代理人王利强
地址 310014 浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号
入库时间 2023-06-19 05:32:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B49/12 申请日:20171123
实质审查的生效
2018-06-12
公开
公开
机译: 一种抛光液,用于抛光组件,尤其是晶片,特别是用于化学-机械抛光此类结构元件的抛光液
机译: 基于金属钴的抛光过程中的抛光液及其使用
机译: 基于金属钴的抛光过程中的抛光液及其使用