基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位系统，包括支座平台、系统控制与驱动子系统、激光传感器测量与反馈子系统、设置在支座平台上的宏微并联平台子系统，所述宏微并联平台子系统包括3‑RRR宏动并联机构、3‑RRR微动柔顺并联机构，所述激光传感器测量与反馈子系统用于分别实时获取3‑RRR宏动并联机构、3‑RRR微动柔顺并联机构的输出动平台位置与姿态角偏差信号并反馈至所述系统控制与驱动子系统，所述系统控制与驱动子系统通过电路与宏微并联平台子系统电路连接。本发明还公开了一种基于激光传感器的平面三自由度宏微复合定位方法。本发明同时具备快速高效的平面三自由度粗定位和纳米级精定位功能。