单晶圆旋转蚀刻清洗机台的流体收集装置

摘要

本发明揭露一种单晶圆旋转蚀刻清洗机台的流体收集装置，用于收集蚀刻单晶圆的流体，包含：转盘，固定及旋转单晶圆；至少一个回收盘，固设于该转盘的外缘，用以收集该单晶圆旋转时甩出的该流体；至少一个盖盘，对应并盖设于该回收盘上，用以导引该流体流至该回收盘中；至少一个升降组，该升降组包括对称的两个升降单元，该升降组连设于该盖盘，用以相对于该转盘及该回收盘而上下作动该盖盘。