一种非晶硅转变为多晶硅的结晶激光装置及方法

摘要

本发明公开一种非晶硅转变为多晶硅的结晶激光装置及方法，该装置包括：腔体、移动式载台、激光产生器以及镜片模块。移动式载台设置于所述腔体中，激光产生器用于提供初始激光，且初始激光照射于腔体内。镜片模块设置于腔体，且镜片模块具有反射面，其中反射面面对于移动式载台，反射面与移动式载台之间形成一旋转角度，所述旋转角度为‑5度～40度。本发明利用镜片模块将非晶硅基材反射的一次反射光再次反射回非晶硅基材，减少了激光能量的损坏，使得激光能量满足非晶硅转变为多晶硅的要求，实现非晶硅向多晶硅的转变。