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公开/公告号CN108020991A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡中微掩模电子有限公司;
申请/专利号CN201610928259.1
发明设计人 季书凤;王兴平;朱希进;尤春;刘维维;沙云峰;魏杰;杨长华;刘孝君;张月圆;
申请日2016-10-31
分类号
代理机构常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙);
代理人康潇
地址 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道202号
入库时间 2023-06-19 05:20:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20161031
实质审查的生效
2018-05-11
公开
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