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公开/公告号CN108028209A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201680051709.1
发明设计人 M·麦科德;R·西蒙斯;D·马斯纳盖蒂;R·克尼彭迈耶;
申请日2016-09-21
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 05:20:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160921
实质审查的生效
2018-05-11
公开
机译: 具有多梁工具的反向散射电子(BSE)成像
机译: 使用多束工具进行背散射电子(BSE)成像
机译:使用低压扫描电子显微镜(LVSEM)对比的反向散射电子(BSE)对比度的定量分析及其在Al0.22Ga0.78N / GaN层中的应用
机译:通过反向散射电子检测使用层状监测,立即开发用于选择性电子束熔化的选择性电子束熔化
机译:使用透射电子显微镜和扫描电子显微镜中的反向散射电子束确定的多晶结构单元的空间取向分布
机译:PICOSecond CO {SUB}散射的反向康普顿散射,使用相对论电子束为明亮的X射线产生的激光脉冲
机译:使用电子反向散射图案对应变进行定性检查,该电子反向散射图案在扫描电子显微镜中采用35MM相机机身。
机译:使用EGSnrc蒙特卡洛模拟评估临床电子束中内部铅屏蔽层的反向散射剂量
机译:使用聚焦离子束切割和反向散射电子成像的生物材料的层析成像
机译:通过硬X射线成像光谱仪(HXIs)观察到肢体X射线耀斑中的射束电子的证据