公开/公告号CN107818921A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 北京工业大学;
申请/专利号CN201710985285.2
申请日2017-10-20
分类号H01L21/336(20060101);H01L21/34(20060101);H01L29/06(20060101);H01L29/16(20060101);H01L29/24(20060101);
代理机构11203 北京思海天达知识产权代理有限公司;
代理人张立改
地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号
入库时间 2023-06-19 04:49:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-28
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L21/336 申请公布日:20180320 申请日:20171020
发明专利申请公布后的撤回
2018-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20171020
实质审查的生效
2018-03-20
公开
公开
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