公开/公告号CN107818392A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 广州杰赛科技股份有限公司;
申请/专利号CN201610826492.9
发明设计人 杜翠凤;
申请日2016-09-14
分类号
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人冯右明
地址 510310 广东省广州市海珠区新港中路381号
入库时间 2023-06-19 04:49:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/06 申请日:20160914
实质审查的生效
2018-03-20
公开
公开
机译: 企业信息化水平评估系统及网络化评估方法
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机译: 有机器件制造装置的气相沉积室的评估方法标准掩模装置和标准衬底的标准掩模装置制造方法有机器件制造装置具有通过评估方法评价的气相沉积室,通过评估方法,该有机装置具有通过评估评估的气相沉积室中形成的气相沉积层。 有机器件制造装置的方法和气相沉积室维持方法