法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20180309 申请日:20160824
发明专利申请公布后的驳回
2018-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20160824
实质审查的生效
2018-03-09
公开
公开
机译: 钼合金溅射靶材和钼合金溅射靶材的制造方法
机译: 能够稳定地,无缺陷地提供非磁性材料的钼合金溅射靶材和钼合金溅射靶材的制造方法
机译: 制造圆柱形钼靶材的方法