多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统

摘要

本发明涉及一种多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统，包括：使用所述多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，标定元件的精度高于所述多台测试设备的测试精度；使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值；通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。上述多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统，通过各测试设备的相对修正系数来保证待测元件的精度加工，不需要逐个调整测试设备到标准机的精度标准就能保证待测元件的加工精度，省时省力，加工效率明显提高。

说明书

技术领域

本发明涉及高精度测试加工领域，特别是涉及一种多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统。

背景技术

在集成电路晶圆测试批量生产过程中，一批晶圆的数量从几片到几百片甚至上千片不等，需要在多台测试设备上加工，才能满足产能要求。不同测试设备之间会存在精度上的微小差异，这些差异在设备的额定精度范围内。对于精度要求不高的晶圆，通常情况下，这个差异不会影响晶圆的批量加工生产。但在某些精度要求高的情形下，测试设备之间的精度差异会严重影响到晶圆的批量正常生产。目前的做法是利用精度符合要求的同一个晶圆样品分别在每台测试设备进行测试，通过人工手动调节每台测试设备的精度，直到测试设备的精度符合要求为止；而晶圆样品随着时间的增长和多次电冲击，性能会产生明显漂移，并且对温度比较敏感，稳定性比较差，需要定期更换。此种通过人工来调整测试设备精度从而保证晶圆精度的方法费时费力，严重影响生产效率。

发明内容

基于此，有必要提供一种能在保证精度的情况下，进行高效率加工的多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统。

一种多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法，每台测试设备上设有标定元件，所述方法包括：

使用所述多台测试设备对所述标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，所述标定元件的精度高于所述每台测试设备的测试精度；

使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值；

通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。

在其中一个实施例中，所述使用所述多台测试设备对所述标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数的步骤包括：

使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取各测试设备的相对修正系数。

在其中一个实施例中，所述使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取各测试设备的相对修正系数的步骤具体为：

使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取所述标准元件在各所述测试设备上测得的实测值；

利用所述标准元件的实测值和所述标准元件的标准值得到所述相对修正系数。

在其中一个实施例中，所述待测元件包括晶圆，所述测试设备包括测试仪。

在其中一个实施例中，所述标准元件是精密电阻。

另一方面，本发明还提出一种多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统，包括：

相对修正系数获取模块，用于使用所述多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，所述标定元件的精度高于所述每台测试设备的测试精度；

待测元件的实测值获取模块，用于使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值；

待测元件的实际值获取模块，用于通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。

在其中一个实施例中，所述相对修正系数获取模块包括：

标准元件获取相对修正系数模块，用于使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取各测试设备的相对修正系数。

在其中一个实施例中，所述标准元件获取相对修正系数模块包括：

标准元件的实测值获取模块，用于使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取所述标准元件在各所述测试设备上测得的实测值；

标准元件的实测值和标准值获取相对修正系数模块，用于利用所述标准元件的实测值和所述标准元件的标准值得到所述相对修正系数。

在其中一个实施例中，所述待测元件包括晶圆，所述测试设备包括测试仪。

在其中一个实施例中，所述标准元件是精密电阻。

上述多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统，通过各测试设备的相对修正系数来保证待测元件的精度加工，不需要逐个调整测试设备到标准机的精度标准就能保证待测元件的加工精度，省时省力，加工效率明显提高。

附图说明

图1为一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法的流程图；

图2为另一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法的流程图；

图3为一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统的系统方框图；

图4为另一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统的系统方框图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的首选实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参见图1，图1为一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法的流程图。

在本实施例中，该多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法包括：

S100，使用多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，所述标定元件的精度高于所述每台测试设备的测试精度。

使用多台测试设备对标定元件分别进行测试，根据测出的值得到各测试设备测试该标定元件得到的测试值，根据不同测试设备得到的测试值，得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，标定元件的精度高于每台测试设备的测试精度。每台测试设备上的标定元件本身的测试精度都在测量误差允许的范围内，在一个实施例中，使用更高精度的合格仪器定期对标定元件进行测试精度校准，从而保证每台测试设备上的标定元件本身的测试精度都在测量误差允许的范围内。在一个实施例中，标定元件是指高于测试设备稳定性和准确性的标准元件，例如标准电阻，在其中一个实施例中，各测试设备的测试精度要比标定元件低1-2个数量级，例如各测试设备的测试精度在0.1％，而标定元件精度是0.01％。在其它实施例中，也可以是任何高于测试设备稳定性和准确性的非标准元件。

S200，使用多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。

使用多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。

S300，通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到待测元件的实际值。

步骤S200测得各待测元件的实测值之后，通过该待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，就可以得到待测元件的实际值，从而保证加工精度。

上述多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法，通过各测试设备的相对修正系数来保证待测元件的实际值，从而保证精度加工，不需要逐个调整测试设备到标准机的精度标准就能保证待测元件的实际加工精度，省时省力，加工效率明显提高。

参见图2，图2为另一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法的流程图。

在本实施例中，该多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法包括：

S101，使用多台测试设备对标准元件进行测试，获取标准元件在各测试设备上测得的实测值。

每台测试设备上都设有标准元件，标准元件的精度高于多台测试设备的测试精度，使用多台测试设备对标准元件分别进行测试，获取标准元件在各测试设备上测得的实测值。

S102，利用标准元件的实测值和标准元件的标准值得到各测试设备的相对修正系数。

利用标准元件在各测试设备上的实测值和该标准元件的标准值就可以得到各测试设备的相对修正系数。在一个实施例中，以该标准元件的标准值为基准，相对修正系数是标准元件的标准值与标准元件的实测值的比值。在其中一个实施例中，标准元件是精密电阻。

S103，使用多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。

使用多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。在一个实施例中，待测元件包括晶圆，测试设备包括测试仪。

S104，通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到待测元件的实际值。

通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，就可以得到待测元件的实际值。在一个实施例中，待测元件的实测值与待测元件使用的测试设备的相对修正系数的乘积就是待测元件的实际值。

参见图3，图3为一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统的系统方框图。

在本实施例中，该多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统包括：

相对修正系数获取模块10，用于使用所述多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，所述标定元件的精度高于所述每台测试设备的测试精度。

待测元件的实测值获取模块20，用于使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。

待测元件的实际值获取模块30，用于通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。

在一个实施例中，相对修正系数获取模块10包括：

标准元件获取相对修正系数模块，用于使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取各测试设备的相对修正系数。

参见图4，图4为另一实施例中多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统的系统方框图。

在本实施例中，该多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统包括：

相对修正系数获取模块10，用于使用所述多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，所述标定元件的精度高于所述多台测试设备的测试精度。

待测元件的实测值获取模块20，用于使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值。

待测元件的实际值获取模块30，用于通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。在一个实施例中，待测元件包括晶圆，测试设备包括测试仪。

相对修正系数获取模块10包括：

标准元件的实测值获取模块11，用于使用所述多台测试设备对标准元件进行测试，获取所述标准元件在各所述测试设备上测得的实测值。在一个实施例中，标准元件是精密电阻。

标准元件的实测值和标准值获取相对修正系数模块12，用于利用所述标准元件的实测值和所述标准元件的标准值得到所述各测试设备的相对修正系数。

上述多台测试设备批量测试的精度一致性修正系统，通过各测试设备的相对修正系数来保证待测元件的实际值，从而保证精度加工，不需要逐个调整测试设备到标准机的精度标准就能保证待测元件的实际加工精度，省时省力，加工效率明显提高。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。