一种子孔径拼接非球面干涉仪

摘要

本发明公开了一种子孔径拼接非球面干涉仪，包括：激光器、分束器、第一扩束系统、参考镜以及扫描探测系统；所述激光器发出细光束并将所述细光束经所述分束器入射至所述第一扩束系统；所述第一扩束系统用于将所述细光束变为宽光束，所述宽光束一部分传播至参考镜后原路返回形成参考波，另一部分经过透射传播至待测非球面镜表面后反射形成检测波，所述参考波与所述检测波形成干涉光束经过分束器后进入所述扫描探测系统；所述扫描探测系统用于将所述经分束器入射的干涉光束变成宽干涉光束后分别探测所述宽干涉光束中的每一个子光束，并存储探测到的所述子光束的面形。该子孔径拼接非球面干涉仪具有成本低，测量精度高的优点。