一种导模共振集成增强量子阱红外探测器及设计方法

摘要

本发明公开了一种导模共振集成增强量子阱红外探测器及设计方法。器件结构自下而上依次为衬底、中间介质层、下电极、量子阱、上电极、光栅层。该方法是通过理论计算发现使用全介质超材料结构可使入射光很好的耦合到结构中，并且利用低折射率的衬底，使得入射的光在量子阱层形成波导模式，进而提高了量子阱的吸收。由于使用全介质结构，避免了传统利用等离激元原理金属的吸收，使得量子阱的吸收达到95％以上，进而为增强量子阱红外探测器的光响应提供了依据。本发明对于改善器件性能和优化设计器件都有着十分重要的意义。