一种基于无掩膜光刻系统的新型运动平台架构及工作流程

摘要

本发明公开了一种基于无掩膜光刻系统的新型运动平台架构及工作流程，基于无掩膜光刻系统的新型运动平台架构采用了气浮轴承取代了传统的线性导轨，并采用有预载力的直线电机，实现整个曝光台面和数字镜头组的固定台面无摩擦的运行，并在气浮上升力和直线电机的预载力的双重作用下实现整个系统更加稳定的运作。提高了系统的精准度和稳定性，改善了产品加工的效率和良率，从而可实现无掩膜光刻设备在高精细线路解析领域的大规模生产应用。