法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R19/25 申请日:20170913
实质审查的生效
2018-01-23
公开
公开
机译: 利用宽带超连续超短脉冲光的单发瞬态吸收测量方法和单发瞬态吸收测量系统
机译: 半导体晶片厚度分布测量系统和半导体晶片抛光系统,半导体晶片厚度分布测量方法,半导体晶片厚度去除余量分布测量方法和半导体晶片抛光方法
机译: 半导体晶片的厚度分布测量系统和半导体晶片抛光系统,半导体晶片的厚度分布测量方法和厚度容限分布测量方法,以及半导体晶片的抛光方法