一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪

摘要

本发明公开了一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元，所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器。本发明采用MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪适于小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。