具有分开z轴部分的微电子机械系统（MEMS）质量块

摘要

除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的微电子机械系统(MEMS)质量块。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x‑y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x‑y平面，其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转。