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Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS
Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS
召开年:
2020
召开地:
Lyon(FR)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Characterization of a Resonant Lorentz Force MEMS Magnetometer
机译:
谐振洛伦兹力MEMS磁力计的特性
作者:
Muneera Al-Shaibah
;
Ru Li
;
Dima S. Ali
;
Zakriya Mohammed
;
Sultan AlDahmani
;
Daniel Choi
;
Ibrahim Abe M. Elfadel
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
Magnetometer;
Lorentz force;
2.
A 100-nG/√ Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes
机译:
具有柱形电极的100nG /√Hz级单Au质校质量3轴MEMS加速度计
作者:
Takashi Ichikawa
;
Ken Atsumi
;
Tatsuya Koga
;
Hiroyuki Ito
;
Shin-ichi Iida
;
Noboru Ishihara
;
Daisuke Yamane
;
Katsuyuki Machida
;
Kazuya Masu
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
accelerometer;
Brownian noise;
pillar-shaped electrode;
Au proof mass;
3.
Experimental Validation of Tuning Mechanisms Applied on AIN Piezoelectric Contour Mode MEMS Resonators
机译:
在AIN压电轮廓模式MEMS谐振器上应用调谐机制的实验验证
作者:
Munira Bengashier
;
Ivan Grech
;
Owen Casha
;
Russell Farrugia
;
Barnaby Portelli
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
PiezoMUMPs;
AlN;
MEMS resonator;
frequency tuning;
4.
Two-port integrated planar devices frequency characterization
机译:
两端口集成平面设备的频率表征
作者:
D.A. Oumar
;
M.I. Boukhari
;
S. Capraro
;
D. Piétroy
;
J.P. Chatelon
;
J.J. Rousseau
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Integrated planar device;
Inductor;
Impedance-meter;
Characterization;
5.
Stretchable Strain Sensors for Human Movement Monitoring
机译:
用于人体运动监测的可拉伸应变传感器
作者:
Abhishek Singh Dahiya
;
Thierry Gil
;
Nadine Azemard
;
Jerome Thireau
;
Alain Lacampagne
;
Aida Todri-Sanial
;
Benoit Charlot
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Stretchable strain sensors;
human movement detection;
silicone rubber;
carbon nanotubes;
silver nanowires;
6.
Low-Power Embedded Audio Recording using MEMS Microphones
机译:
使用MEMS麦克风的低功耗嵌入式音频录制
作者:
Laurent Latorre
;
Simon Chamaillé-Jammes
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Audio recording;
MEMS microphone;
bio-logging;
low-power;
7.
Evaluation of the Electrode Design of an Integrated Bionic Microflapper for Improved Fluid Flow
机译:
用于改善流体流动的集成仿生微瓣电极设计的评估
作者:
Simon Essing
;
Regine Behlert
;
Wolfgang Hölzl
;
Gabriele Schrag
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
piezoelectricity;
fluidic actuator;
laser doppler vibrometry;
micro-flapper;
undulation;
electrode design;
8.
Preparation of Germanium-on-insulator (GOI) wafers by means of layer transfer tehnique
机译:
通过层转移技术制备绝缘体上锗(GOI)晶片
作者:
Marco Lisker
;
Andreas Krüger
;
Patrick Krüger
;
Thomas Voss
;
Rasuole Lukose
;
Yuji Yamamoto
;
Oksana Fursenko
;
Matthias Wietstruck
;
Mehmet Kaynak
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
GOI;
wafer bonding;
layer transfer;
grinding;
CMP;
9.
Resonant micro-mirror oscillation amplitude measurement and all digital actuation
机译:
谐振微镜振荡幅度测量和全数字驱动
作者:
Barnaby Portelli
;
Ivan Grech
;
Joseph Micallef
;
Russell Farrugia
;
Owen Casha
;
Edward Gatt
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Resonant micro-mirror;
fractional-N dividers;
photodiode-based amplitude measurement;
10.
Fabrication of a Multiple Heater-Sensor Platform for Cell Temperature Monitoring
机译:
用于细胞温度监测的多重加热传感器平台的制造
作者:
Alexandra Garraud
;
Skandar Basrour
;
David Peyrade
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Heater-sensor platform;
Transparent microsystem;
cell culture device;
Lensfree Imaging;
11.
Fabrication of porous polymer based pressure sensors using sacrificial PVA 3D scaffolds for the refined tuning of sensor performances
机译:
使用牺牲性PVA 3D支架制造基于多孔聚合物的压力传感器,以精确调节传感器性能
作者:
Sylvie Bilent
;
Emile Martincic
;
Pierre-Yves Joubert
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Pressure sensors;
flexible sensors;
porous polymer;
additive process;
3D PVA sacrificial mold;
electromechanical characterization;
fabrication process;
12.
Designing Micro-Mechanical Cantilever Resonator Arrays for Wideband Detection of Ultrasonic Xylem Cavitation Emissions Related to Plant Water-Stress
机译:
设计用于机械检测与植物水分相关的超声木质部空化排放的微机械悬臂谐振器阵列。
作者:
Dinko Oletic
;
Etienne Herth
;
David Bouville
;
Emile Martincic
;
Vedran Bilas
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
water-stress;
cavitation;
ultrasonic emissions;
mechanical resonators;
cantilevers;
FEM;
13.
Micro-scale Electrostatic Attach-detach Device for Self-reconfigurable Modular Robotic System
机译:
自重构模块化机器人系统的微型静电拆装装置
作者:
Kei Misumi
;
Gwenn Ulliac
;
Naoto Usami
;
Benoit Piranda
;
Yoshio Mita
;
Akio Higo
;
Julien Bourgeois
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Self-reconfigurable robots;
electrostatic actuator;
micro robot;
programmable matter;
14.
Antireflection coating with both super-hydrophilicity and photocatalysis effect
机译:
兼具超亲水性和光催化作用的减反射涂层
作者:
Kazunari Tada
;
Yasushi Mizumachi
;
Jinichi Kasuya
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
hydrophilic;
photocatalysis;
anti-reflection;
nanostructure;
dry etching;
camera lens;
self-assembled mask;
15.
Assessment Of Annealing Treatment For Wrinckle-Less Sio2 Membrane
机译:
皱纹较少的Sio2膜退火处理的评估
作者:
Ayako Mizushima
;
R Ranga Reddy
;
Kuniaki Konishi
;
Tomoya Ezawa
;
Etsuko Ota
;
Makoto Kuwata-Gonokami
;
Yoshio Mita
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
membrane;
wrinkling;
Deep RIE (DRIE);
humidity;
elongation;
CVD SiO2;
16.
Vibrational Energy Harvester with Electric Double Layer Electrets
机译:
带有双电层驻极体的振动能量收集器
作者:
Shimpei Ono
;
Kazumoto Miwa
;
Sunao Shimizu
;
Yuichiro Watanabe
;
Alexander Wei
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Vibrational energy harvester;
electric double layer electret;
17.
A Method for Optimizing the Output Power of MEMS Vibrational Energy Harvester
机译:
一种优化MEMS振动能量采集器输出功率的方法
作者:
Hiroyuki Mitsuya
;
Hisayuki Ashizawa
;
Noriko Shimomura
;
Hiroaki Honma
;
Gen Hashiguchi
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
vibrational energy harvester;
electret;
18.
High vacuum wafer level packaging for uncooled infrared sensor
机译:
高真空晶圆级封装,用于未冷却的红外传感器
作者:
Mikel Azpeitia Urquia
;
Giorgio Allegato
;
Stefano Paleari
;
Francesco Tripodi
;
Laura Oggioni
;
Matteo Garavaglia
;
Yael Nemirovsky
;
Tanya Blank
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
Infrared Sensor;
Wafer level Packaging;
High Vacuum;
Getter;
Electrical Measurement;
Process Control;
19.
Portable device integrating an ultrasensitive mechanical crack-based sensor for the wireless monitoring of cardiac activity
机译:
便携式设备集成了超灵敏的基于机械裂纹的传感器,可无线监测心脏活动
作者:
Nicolas De Pinho Ferreira
;
Etienne Puyoo
;
Bertrand Massot
;
Solène Brottet
;
Christophe Malhaire
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Flexible technology;
crack-based strain sensor;
arterial-pulse sensor;
Atomic Layer Deposition;
20.
Long-range Planar Conveyance Device Based On A Digital Electromagnetic Actuator Array
机译:
基于数字电磁作动器阵列的远程平面输送装置
作者:
S. Duque Tisnes
;
Z. Shi
;
E. Herth
;
S. Edmond
;
L. Petit
;
E. Martincic
;
C. Prelle
;
J. Terrien
;
J. Moulin
;
E. Lefeuvre
;
F. Lamarque
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Micro planar motion;
digital electromagnetic actuator;
modular design;
scalable design;
micro-conveyor;
21.
Safety and Arming Device With MEMS Based Encryption System Driven by Electrothermal Actuator
机译:
电热执行器驱动的基于MEMS加密系统的安全与武装装置
作者:
Kuang Fang
;
TengJiang Hu
;
XiaoHua Jiang
;
YuLong Zhao
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Safety and Arming Device;
Encryption system;
Electrothermal actuator;
22.
High Speed Silicon Wet Bulk Micromachining of Si{111} in KOH Based Solution
机译:
基于KOH的溶液中Si {111}的高速硅湿法批量微加工
作者:
Avvaru Venkata Narasimha Rao
;
Prem Pal
;
Ashok Kumar Pandey
;
P Krishna Menon
;
Hiroshi Tanaka
;
Kazuo Sato
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Si{111}KOH;
bulk micromachining;
MEMS;
wet anisotropic etching;
NH2OH;
etch rate;
undercutting);
23.
Design of Ultra-Low Power Pulse-Driven MEMS Oscillator
机译:
超低功耗脉冲驱动MEMS振荡器的设计
作者:
Seonho Seok
;
Giorgio Cristiano
;
Taekwang Jang
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Low power;
pulse-driven;
MEMS oscillator;
24.
Developing Self-powered High Performance Sensors: Part II - Preliminary Study On PE-ME Coupling In A Vibration Energy Convertor
机译:
开发自供电高性能传感器:第二部分-振动能量转换器中PE-ME耦合的初步研究
作者:
Luwei Zheng
;
Dong F. Wang
;
Yupeng Fu
;
Xu Yang
;
Yuji Suzuki
;
Maeda Ryutaro
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Centralized parameter model;
Coupling strength;
Piezoelectric-Magnetoelectric (PE-ME) composite mechanism;
Vibration energy convertor;
Self-powered applications insert;
25.
Low-Frequency Noise Analysis Of On-Membrane Mosfet And In-Situ Thermal Annealing
机译:
膜态MOSFET的低频噪声分析和原位热退火
作者:
Sedki Amor
;
Léopold Van Brandt
;
Valeriya Kilchytska
;
Mohsen Machhout
;
Laurent A. Francis
;
Denis Flandre
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
l/f NOISE;
MOSFET;
Thermal Annealing;
DRIE defects;
interface traps;
26.
Design and Simulation of XZ MEMS Micropositioning with 3D-Complex Structure
机译:
具有3D复杂结构的XZ MEMS微定位的设计和仿真
作者:
Tachadol Suthisomboon
;
Sylwester Bargiel
;
Kanty Rabenorosoa
;
Eakkachai Pengwang
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
Femtoprint machine;
Femtosecond laser;
Micropositioning;
Comb drives;
Electrostatic actuators;
27.
Growth of textured aluminum films on LiNbO3 piezoelectric substrate with ultrathin tantalum underlayer.
机译:
在具有超薄钽底层的LiNbO3压电基板上生长织构铝膜。
作者:
Hala Achahbar
;
Florent Bernard
;
Emilie Courjon
;
Thomas Baron
;
Sylvain Balandras
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
Piezoelectric;
AlCu2 (111) texture;
Ultrathin underlayer;
Electromigration;
LiNbO3;
SAW;
Free surface energy;
IDT;
5G;
28.
A Computer Vision Algorithm for the Digitalization of Colorimetric Lateral Flow Assay Readouts
机译:
比色法横向流量分析读数数字化的计算机视觉算法
作者:
Luca Pezzarossa
;
Susan Ibi Preus
;
Winnie Edith Svendsen
;
Jan Madsen
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
lateral flow assay;
sample digitalization;
computer-vision algorithm;
arbitrary marker topology;
OpenCV;
29.
New High Efficiency Heater Design for a 3-axis CMOS MEMS Convective Accelerometer
机译:
用于三轴CMOS MEMS对流加速度计的新型高效加热器设计
作者:
Sonia Abdellatif
;
Brahim Mezghani
;
Frederick Mailly
;
Pascal Nouet
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
MEMS;
CMOS;
FEM;
convective accelerometer;
efficiency;
out-of-plane sensitivity;
30.
Characterization of Mobility of Charged Dissociated Species in Dielectric Fluids For EHD Pumping Microsystems
机译:
EHD泵浦微系统介电流体中带电离解物种的迁移率表征
作者:
Lucas Blanc
;
Fabien Parrain
;
Agnès Chaillot
;
Marion Woytasik
;
Olivier Maire
;
Alain Bosseboeuf
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
EHD pumping;
dielectric fluids;
Hydro-Fluoro-Ethers (HFE);
dissociated species;
characterization of mobility;
time-of-flight;
31.
Mechanical comparison between two titanium micro membranes for in vivo pressure monitoring
机译:
用于体内压力监测的两种钛微膜之间的机械比较
作者:
G. Bécan
;
J. Phung
;
H. Philippe
;
A. Bosseboeuf
;
P. Coste
;
E. Laudrel
;
B. Boutaud
;
M. Woytasik
;
E. Lefeuvre
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
medical implants;
MEMS;
pressure sensor;
bulk titanium;
micromachined membrane;
embossed membrane;
32.
Design and Fabrication of High Performance Resonant Micro-Mirrors using the Standard SOIMUMPs Process
机译:
使用标准SOIMUMPs工艺设计和制造高性能谐振微镜
作者:
Russell Farrugia
;
Barnaby Portelli
;
Ivan Grech
;
Joseph Micallef
;
Owen Casha
;
Edward Gatt
会议名称:
《Symposium on Design, Test, Integration Packaging of MEMS and MOEMS》
|
2020年
关键词:
resonant micro-mirrors;
electrostatic comb drive;
laser beam scanning;
air damping;
dynamic deformation;
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