一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置

摘要

本发明提出了一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，换热器内穿过原料气管、冷凝气管、废气管和供气管，原料气管连接至低温精馏塔的进气口，低温精馏塔的出气口连接至废气管，低温精馏塔的出液口连接排液管，排液管上设有第一纯度检测器，排液管末端分三路并联分别设置第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐，第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的进液口上分别设置第一阀门、第二阀门和第三阀门；第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的出液口分别连接至供气管的进气端，供气管的出气端依次设置第二纯度检测器和流量计。本发明彻底解决了供气质量不合格造成的问题。