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Specificity of high-pure monocrystalline silicon production for various registering and converting devices

机译:用于各种注册和转换装置的高纯单晶硅生产的特异性

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摘要

In this paper, recent results of studies focused on detector-grade silicon monocrystals production are summarized and systematized. Described are the manufacturing technology of silicon rod with a diameter up to 105 mm and dislocation-free monocrystals used for fabrication of large area detectors, p-type conductivity crystals with resistivity more than 1000 Ohm·cm being prepared by the method of neutron-transmutation doping.
机译:在本文中,概述了最近的研究结果,综合对探测器级硅单晶体产生的产生和系统化。描述的是硅棒的制造技术,其直径高达105毫米,无位脱位的单晶,用于制造大面积探测器,电阻率的P型导电晶体大于1000欧姆·cm,通过中子嬗变的方法制备兴奋剂。

著录项

  • 作者

    Yu.V. Trubitsyn;

  • 作者单位
  • 年度 2000
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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