基于分子动力学模拟的浅纳米压痕弹性模量的计算方法

摘要

本发明公开了一种基于分子动力学模拟的浅纳米压痕弹性模量的计算方法，包括以下步骤：建立浅纳米压痕分子动力学模拟模型，确定分子动力学模拟计算的参数，将压头模块垂直向下并压入工件模块中，采用分子动力学模拟方法并通过计算得到所述牛顿层的作用力‑位移数据；将所得作用力‑位移数据绘制成图谱，得到作用力‑位移曲线，根据所述作用力‑位移曲线区分曲线弹性变形区域和塑性变形区域，再根据Hertz理论以及所述曲线弹性变形区域的作用力‑位移数据，计算得到所述工件模块的弹性模量，本发明的计算方法能够极大的降低实验费用，保证实验的稳定性，动态展现压痕过程，对于纳米尺度测量加工具有指导意义。