鳍式半导体器件的自对准栅极和/或源极/漏极接触结构及其形成方法

摘要

鳍式半导体器件包括栅极结构和源极/漏极结构。鳍式半导体器件还包括耦合到栅极结构的栅极硬掩模结构。栅极硬掩模结构包括第一材料。鳍式半导体器件还包括耦合到源极/漏极结构的源极/漏极硬掩模结构。源极/漏极硬掩模结构包括第二材料，其蚀刻选择性不同于第一材料。