含有铜基掺杂剂的氧化铟纳米线、其形成方法和含有该氧化铟纳米线的气体传感器及形成多个含有金属酞菁的纳米线的方法、纳米线装置和含有多个金属酞菁纳米线的气体传感器

摘要

根据本发明的实施例，提供了形成包含铜基掺杂剂的氧化铟纳米线的方法。所述方法包括提供铟基前体材料和铜基掺杂剂前体材料，以及进行热蒸发处理使所述铟基前体材料和铜基掺杂剂前体材料蒸发，以在基底上形成包含铜基掺杂剂的氧化铟纳米线。根据本发明的另外的实施例，还提供了包含铜基掺杂剂和气体传感器的氧化铟纳米线。根据本发明的另外的实施例，还提供了形成包含金属酞菁的多个纳米线的方法、纳米线装置和气体传感器。