用于校准3D成像的方法和用于3D成像的系统

摘要

一种用于校准基于电磁辐射的三维成像的方法包括：至少部分地基于从校准工件接收到的电磁波来获得(501)校准成像结果；基于校准成像结果和校准工件的已知厚度剖面，形成(502)校准数据；在校准数据的帮助下，校正(503)至少部分地基于从待成像的样本接收到的电磁波获得的成像结果。校准工件包括例如Langmuir‑Blodgett膜的层，其具有预定厚度并彼此堆叠以便实现校准工件的预定厚度剖面。还提出了配置为执行该方法的三维成像系统。