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公开/公告号CN107424955A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201710337590.0
发明设计人 黎照健;罗郑硕;拉什纳·胡马雍;迈克尔·达内克;凯寒·阿比迪·阿施蒂尼;
申请日2017-05-15
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 03:52:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20170515
实质审查的生效
2017-12-01
公开
机译: 钴的锰阻挡层和粘附层
机译: 提供用于将阻挡层和/或种子层粘附至介电膜的粘附层的方法
机译:ALD铜在钴粘附层和氮化钨扩散阻挡层上的成核和粘附
机译:关于水氧化过程中镍,锰和钴的腐蚀阻挡层对硅光阳极的有效性的光发射研究
机译:阻挡层组成和电镀化学对铜/介电扩散阻挡层膜粘附和空洞的影响
机译:SiO2上锰硅酸锰阻挡层的生长特性
机译:用于铜/二氧化硅和铜/低kappa集成的基于钽和钌的扩散阻挡层/粘附促进剂。
机译:生物粘附阻挡层口服液体凝胶改善了头颈癌患者的口腔粘膜炎和营养状况正在进行放疗:回顾性单中心研究
机译:用于金属基板上的柔性薄膜太阳能电池的陶瓷阻挡层:用于工艺优化和阻挡层特性的实验室规模研究
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