公开/公告号US10438847B2
专利类型
公开/公告日2019-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201715592046
申请日2017-05-10
分类号H01L21/768;C23C16/04;C23C16/18;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/505;C23C16/56;H01L21/285;H01L23/532;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:42