一种HCD机台用具有冷却调温功能的管道冷阱

摘要

本发明提出一种HCD机台用具有冷却调温功能的管道冷阱，管壁为双层中空金属结构，其中空部分为环绕状中空管路，中空管路采用上密下疏排管方式，冷却方式采用冷却水或冷却空气作为降温介质，其自带的控制器可以自动量测管道冷阱冷却温度，与设定温度值进行比较计算后输出控制信号给调节阀，实现自动调节冷却介质流量，进而实现自动调节管道冷阱冷却温度的目的。本发明可有效实现工艺气体中的副产物在管道冷阱内壁均匀冷却沉积，大幅减少了管道冷阱的维护频度，同时实现了管道冷阱冷却温度的可调性，使得工艺副产物稳定附着在管道冷阱内壁，有效防止了因温度变化导致副产物局部脱落引起真空泵堵塞、工艺异常中断、产品报废等情况发生。