首页> 中国专利> 一种光掩模和利用其制造用于滤色器的柱状间隔件的方法

一种光掩模和利用其制造用于滤色器的柱状间隔件的方法

摘要

本发明涉及一种光掩模以及一种用于利用该光掩模制造用于滤色器的柱状间隔件的方法,并且根据本发明的一个方面,提供了一种光掩模,该光掩模包括:具有第一透射率的中央区域;第一周边区域,其围绕所述中央区域并具有低于所述第一透射率的第二透射率;以及第二周边区域,其围绕所述第一周边区域并具有所述第一透射率。

著录项

  • 公开/公告号CN107272326A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-10-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社LG化学;

    申请/专利号CN201710203549.4

  • 申请日2017-03-30

  • 分类号G03F1/56(20120101);G03F1/76(20120101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人武树辰;王艳江

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2023-06-19 03:35:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/56 申请日:20170330

    实质审查的生效

  • 2017-10-20

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号